检测项目
1.系统漏率检测：氦质谱检漏法测量漏率≤110⁻⁰Pam/s
2.极限真空度测定：四级质谱计测量压力≤510⁻⁷Pa
3.放气率测试：静态升压法测量材料放气率≤110⁻⁹Pam/(sm)
4.残余气体分析：四极杆质谱仪检测H₂O、H₂、CO分压比≤5%
5.真空维持时间：动态测试系统在24小时内压力变化≤5%
检测范围
1.半导体制造设备：包括PVD/CVD腔体、离子注入机真空室
2.航天器组件：推进剂贮箱、热控多层隔热材料组件
3.加速器真空系统：超导磁体低温恒温器、束流管道
4.真空镀膜设备：磁控溅射靶材、电子束蒸发源密封结构
5.低温工程装置：液氦杜瓦容器、超流氦传输管线
检测方法
1.ASTME493-22《质谱仪检漏法测定密封包装泄漏的标准试验方法》
2.ISO3567:2020《真空技术—可烘烤金属密封件的泄漏率测试》
3.GB/T3163-2007《真空技术术语》规定的静态升压测试规程
4.ASTME1603-19《残余气体分析仪校准标准指南》
5.GB/T32218-2015《真空技术涡轮分子泵性能测试方法》
检测设备
1.AgilentVS-Series氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）
2.INFICONTranspectorCPM300残余气体分析仪（质量数1-300amu）
3.LeyboldTURBOVACMAGiNTEGRA分子泵组（极限压力510⁻⁸mbar）
4.PfeifferVacuumHPT200热阴极电离规（测量范围110⁻至110mbar）
5.EdwardsSTP-4503涡轮分子泵（抽速450L/s）
6.MKS925系列电容薄膜规（精度0.15%读数）
7.Varian979系列电离规控制器（量程110⁻⁰至1Torr）
8.CanonANELVAMRH-2000四极质谱仪（分辨率0.5amu）
9.KurtJ.LeskerALCATELDrytel1025干式涡旋泵（无油抽速25m/h）
10.ShimadzuGCMS-QP2020NX气相色谱质谱联用系统（检测限ppt级）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
